이충연
( Chung-Yeon)
1iD
이대종
( Lee⋅Dae-Jong)
1iD
전명근
(Lee⋅Myung-Geun Chun)
†iD
Copyright © The Korean Institute of Electrical Engineers(KIEE)
Key words
Edge exposure, UV LED, Illumination compensation algorithm, exposure controller
1. 서 론
디스플레이의 다양한 공정 중에서 노광 공정은 생산비용의 35% 이상이며, 공정시간의 60% 이상을 차지하는 매우 중요한 공정이다. 따라서 노광 공정시간의
개선은 전체 디스플레이 공정시간의 단축으로 이어져 생산성 증대로 이어지므로 관계 업계에서도 노광 공정시간을 단축하기 위한 다양한 방법을 시도하고 있다.
다양한 노광장비 중에서 엣지 노광 또는 주변 노광은 감광액 도포 후 글라스의 주변부를 깎아 내어 공정과정에서 발생하는 파티클을 줄이는 공정을 말한다.
특히 글라스를 절단하는 과정에서 미세한 파티클이 발생하면 불량품이 될 가능성이 매우 높음으로 파티클을 철저하게 관리하는 것이 중요하며, 이러한 파티클
관리는 생산성에 중요한 인자로 고려되는 수율(Yield)을 결정하는 한 요소이다.
UV LED를 이용한 국내 연구내용을 분석한 결과, 고지향성 광원 및 광원모듈을 개발하기 위해 365nm 파장대역에서 높은 투과율을 가지는 실리콘
수지를 이용하여 TIR 렌즈를 제작하고 제작된 렌즈를 사용하여 COB 형태의 노광기 광원모듈을 제작한 연구도 이루어졌다(1). 또한 UV LED 칩 온도를 낮추기 위하여 방열기구를 설계한 후 UV LED 노광기에 적용한 연구도 진행되었다(2). 이외에도 UVA LED를 이용한 스캔 노광기용 렌즈 설계 기술 연구(3), UVA LED를 이용한 근접 노광용 렌즈 설계 기술 연구(4), 노광 장치 시뮬레이터 개발(5), 디스플레이용 G,H,I선 복합파장 노광기에서 위상 변위 마스크 및 사입사 조명계를 적용한 해상력 향상 방안에 대한 연구(6)도 이루어졌다. UV LED를 이용한 국외 연구내용을 분석한 결과, PCB에 사용되는 UV 노광장치 개발(7), LSF(Light Spread Funtion) 기법을 이용하여 UV-LED 노광장치에 사용되는 높은 균일도를 갖는 렌즈를 개발하였다(8). 또한 UV LED의 균일도 향상을 위한 코팅렌즈 설계 및 개발(9), 투과율 및 균일성 향상을 위한 Fly 렌즈 개발(10), 균일한 조사를 위하여 리플렉터가 있는 UV-LED 노광 시스템의 렌즈 설계(11) 등 주로 렌즈 설계에 대한 연구가 이루어지고 있다.
상술한 바와 같이 노광 설비에 대한 연구는 주로 렌즈 설계 위주로 진행이 되고 있다. 물론 엣지 노광장비는 높은 광 효율과 조도 균일도를 갖는 광원
및 렌즈 설계도 중요하지만 공정 사양에 맞도록 광원을 제어하는 제어기 설계기술도 중요하다. 또한 온도에 따라 광 출력이 변화하므로 온도변화에 따른
광 출력 보상알고리즘을 개발하여 온도에 상관없이 일정한 광 출력이 이루어지도록 노광기를 개발하여야 한다. 따라서 본 논문에서는 온도가 변화하더라도
일정한 광 출력이 발생되도록 조도 보상 기능을 갖는 UV LED 기반의 엣지 노광 제어기 개발하였다.
2. 조도 보상 기능을 갖는 UV LED 기반의 엣지 노광 제어기 개발
2.1 엣지 노광 제어기 구성
그림 1에서는 본 논문에서 개발한 조도 보상 기능을 갖는 UV LED 기반의 엣지 노광 제어기의 구성도를 나타냈다. 그림 1에서 보는 바와 같이 전원장치에서 필요한 전원인 5V와 3.3V를 연결된 외부 모듈에 공급한다. 광원은 사용자 편리성으로 인하여 디지털 방식으로 제어된다.
이를 위해 통신 또는 외부 밝기 명령에 따라 MCU가 DAC로 밝기 명령을 전송하면, DAC는 디지털 밝기 레벨에 따른 아날로그 출력을 광원 제어
드라이버에 전송하여 광원의 밝기가 제어된다. 또한 제어보드에서 측정된 온도값을 MCU에서 전송받아 조도 보상 알고리즘이 적용되어 온도에 상관없이 일정한
광출력이 발생하도록 하였다.
그림 1 UV LED 기반의 엣지 노광 제어기의 구성도
Fig. 1 Configuration edge exposure controller based on UV LED
2.2 정전류 기반의 UV LED 제어 회로 설계 및 제작
그림 2에서는 아닐로그 방식의 UV LED 광원 제어를 위한 정전류 제어회로를 나타냈다. UV LED의 밝기가 선형적으로 변하기 위해서는 전류의 변화도 선형특성을
가져야 하므로 제어전압을 증가하면서 전류의 선형특성 실험을 분석하였다. 분석방법은 제어전압을 1V에서 5V까지 9단계로 증가시키면서 출력전류가 선형특성을
나타내는지 분석하였다. 분석결과 그림 3에서 나타낸 바와 같이 전류 제어용 전압의 증가에 따라 선형적으로 출력전류가 변하는 것을 알 수 있다.
그림 2에 나타낸 UV LED 제어회로는 아날로그 방식으로 사용자가 PC에서 제어하는데 어려움이 있다. 따라서 본 논문에서는 디지털 방식으로 UV LED
제어회로를 설계하였다. 기존의 아날로그 방식에서 디지털 방식으로 LED를 제어하기 위해서는 DAC 회로가 필요하며, 이를 위해 그림 4에 나타낸 TI사의 TLV5628C를 적용하였다. TLV5628C DAC 소자는 8비트 전압 출력용 DAC 전용소자로 직렬 인터페이스인 SPI 통신에
의해 제어된다. 그림 4에 나타낸 CLK DATA, LOAD 라인은 그림 5에 나타낸 MCU 회로에 연결된다. 즉 MCU에서 최소 0에서 최대 255로 타나낸 디지털 값을 DAC 소자에 전송하면 DAC 소자는 MCU(ATMEGA123)에서
전송된 디지털 값에 대응되는 아날로그 값을 그림 2에 나타낸 제어전압에 인가하여 UV LED의 밝기가 제어되도록 설계하였다.
그림 2 아날로그 방식의 UV LED 제어회로
Fig. 2 Analog type UV LED control circuit
그림 3 제어 전압 증가에 따른 출력전류 특성
Fig. 3 Output current characteristics according to control voltage increase
그림 4 TLV5628C의 기능 블록도
Fig. 4 functional block diagram of TLV5628C
그림 5 디지털 제어를 위한 MCU 회로도
Fig. 5 MCU schematic for digital control
DAC의 아날로그 출력전압은 식 (1)에 의해 계산할 수 있다. 식 (1)에서 $CODE$는 0 ~ 255의 사이 범위, $RNG$은 0 또는 1로 설정, REF는 레퍼런스 전압을 의미한다.
디지털 방식에서 UV LED가 선형적으로 제어되기 위해서는 8비트 ADC 레벨에 따라 출력전류가 일정해야 한다. 따라서 MCU에서 DAC로 전송되는
ADC 레벨에 따른 출력전류의 선형성을 분석하여 그림 6에 나타냈다. ADC 레벨은 5에서 25까지 5단계로 변화시키면서 출력전류를 측정하였다. 그림 5에서 보는 바와 같이 ADC 레벨에 따라 출력전류가 선형성을 보임을 알 수 있다.
그림 6 ADC 레벨에 따른 출력전류 특성
Fig. 6 Output current characteristics according to ADC leve
2.3 선형 회귀모델을 이용한 조도 보상 알고리즘 개발
광원의 온도가 상승하면 광 출력이 저하되는 특성이 있다. 따라서 온도가 상승하였을 때 저하된 광 출력만큼 보상하여 광 출력을 일정하게 유지 시켜야
한다. 광 출력 조도 보상 알고리즘을 개발하기 위해서는 온도 상승에 따른 광 출력 예측모델이 필요하다. 본 논문에서는 측정된 온도 데이터를 이용하여
광 출력을 예측하고 예측된 광 출력 정보를 이용하여 DAC의 레벨을 증가시켜 광 출력을 증가시키고자 한다.
온도에 따른 광 출력 특성을 분석하기 위하여 광 출력 단계를 120, 150, 180, 210, 240에 대해서 온도를 25℃에서 40℃까지 1℃씩
증가시키면서 광 출력을 측정하였다. 그림 7에서는 온도 증가에 따른 광 출력(㎽/㎠) 특성을 나타냈다. 그림 7에서 보는 바와 같이 ADC 레벨이 240이고 온도가 25℃일 때 광 출력은 35.6이지만 온도가 40℃일 때 광 출력은 33.5로 25℃일 때와
비교하면 광 출력이 5.6% 감소되었다. ADC 레벨이 120이고 온도가 25℃일 때 광 출력은 18.5이지만 온도가 40℃일 때 광 출력은 17.6으로
25℃일 때와 비교하면 광 출력이 4.9% 감소되었다. ADC 레벨이 150, 180, 210인 경우에도 온도 증가에 따라 광 출력이 저하됨을 알
수 있다. 이러한 광 출력 저하는 엣지 노광기의 성능 저하로 이루어지므로 온도가 변화하더라고 일정한 광 출력이 발생하도록 온도에 따른 조도보상 알고리즘이
적용되어야 한다.
그림 7 온도와 ADC레벨에 따른 광 출력 특성
Fig. 7 Characteristics of light output according to temperature and ADC level
온도에 따른 광 출력 저하문제를 해결하기 위하여 최소 자승법에 기반을 둔 선형회귀분석을 통하여 조도 보상 알고리즘을 계산하였다. 최소자승(LSE:
Least Square Error)법은 선형 회귀분석에서 입력과 출력 데이터의 선형계수값을 구하기 위해 일반적으로 널리 사용되는 방법으로, 다음 식 (2)과 같이 출력 $y$는 선형적인 파라미터들의 관계로부터 얻어진다(12).
여기서, $x_{1},\: x_{2},\:\ldots ,\: x_{n}$은 $n$차원을 가지는 모델의 입력이고, $a_{1},\: a_{2},\:\ldots
,\:a_{n}$는 추정하고자 하는 선형계수값들이다. $a_{i}(i = 1,\: 2,\:\ldots ,\: n)$를 추정하기 위해서, $m$개의
데이터 쌍 $\left\{({bold x}_{i},\: y_{i}),\: i=1,\: 2,\:\ldots ,\: m\right\}$으로 이루어진 학습
집합에 하여 대하여 식 (2)은 다음 식 (3)와 같이 간결하게 표현될 수 있다.
여기서, ${bold X}$는 $m\times n$ 행렬로 다음과 같다.
${bold a}$는 다음과 같이 $n\times 1$의 추정하고자 하는 선형계수의 벡터이며, ${bold y}$는 $m\times 1$의 출력 벡터이다.
일반적으로 모든 $m$개의 출력을 만족하는 해를 구하는 것은 어려운 일이다. 따라서 식 (6)에서 ${bold y}$는 모델링 오차 ${bold e}$를 적용하여 ${bold Xa}+{bold e}={bold y}$로 나타낼 수 있으며, 만일
${bold X}^{T}{bold X}$가 비정칙(nonsingular)인 경우, 최소자승추정량(least square estimator) $\hat{bold
a}$을 다음과 같이 구할 수 있다.
최종 예측은 다음과 같이 구해진다.
3. 실험 및 결과
그림 8에서는 개발된 제어보드를 나타냈다. 그림 9에서는 UV LED 제어기와 제에기와 연결된 UV LED 광원을 나타냈다. UV LED 제어는 PC에서 뿐만 아니라 케이스 외부에 취부된 버튼에 의해
제어가능하도록 제작하였다. 모든 동작 상태는 케이스 외부에 장착된 LCD에 표시된다. 그림 10에서는 온도에 따른 광 출력 실험장치를 나타냈다. 그림 10에서 보는 바와 같이 UV 광원 위에 UV 센서를 접촉하였고 광 출력 데이터는 ORC UV-M30A 자외선 광량계 측정기의 LCD에 표시되어 온도에
따른 광 출력 데이터를 측정하였다. 온도 변화는 UV LED 점등 시간에 따라 상승하므로 제어기 표시판에 나타낸 온도 측정값을 보면서 광 출력을 기록하였다.
그림 11에서는 ADC 레벨을 120으로 고정한 상태에서 조도 보상 후 25℃일 때와 40℃일 때의 광 출력 결과를 나타냈다. 그림 11에서 보는 바와 같이 온도변화에 상관없이 광출력이 일정함을 알 수 있다.
그림 8 UV LED 제어보드
Fig. 8 UV LED Control Board
그림 9 UV LED 광원 및 제어기
Fig. 9 UV LED light source and controller
그림 10 온도에 따른 광 출력 실험장치
Fig. 10 Light output test apparatus according to temperature
온도에 따른 조도 보상 알고리즘은 그림 12에 나타낸 25℃ 광 출력을 기준으로 온도에 따른 광 출력(㎽/㎠) 변화량을 이용하여 선형회귀모델을 구축하였다. 선형회귀모델을 계산 할 결과 조도
보상 식은 아래와 같으며 그림 13에서 선형회귀 모델에서 계산된 온도에 따른 광 출력변화 값을 나타냈다.
그림 11 조도 보상 후 25℃일 때와 40℃일 때의 광 출력
Fig. 11 Light output at 25℃ and 40℃ after illuminance compensation
그림 12 온도에 따른 광 출력 변화량 (25℃일 때 0 기준)
Fig. 12 Light output variation according to temperature (0 at 25°C)
그림 13 선형회귀 모델에서 계산된 온도에 따른 광 출력변화
Fig. 13 Light output change according to temperature calculated in linear regression
model
그림 13에서 보는 바와 같이 선형모델에 의해 5종류의 ADC 레벨에 대해 효과적으로 광 출력 보상값을 추정함을 알 수 있다. 그림 13에서 나타낸 모델 식을 이용하여 각 단계별 온도 변화에 따른 광 출력 특성을 실험하여 그림 14에 나타냈다. 그림 14에서 보는 바와 같이 조도 보상 전에는 온도 증가에 따라 광 출력 저하의 문제점이 발생하였으나 조도 보상 알고리즘을 적용한 후에는 온도 증가에 상관없이
일정한 광 출력이 발생함을 알 수 있다.
그림 14 조도 보상 전과 후 온도에 따른 광 출력
Fig. 14 Light output according to temperature before and after illumination compensation
4. 결 론
본 논문에서는 조도 보상 기능을 갖는 UV LED 기반의 엣 지 노광 제어기를 개발하였다. 노광 제어기의 광량 조절은 기존의 아날로그 방식이 아닌
디지털 방식으로 255단계 밝기 제어가 가능하도록 구현하였다. 또한 온도증가에 따라 광 출력이 저하되는 단점을 해결하기 위하여 선형회귀모델을 이용하여
조도보상 알고리즘을 개발 및 적용하였다. ADC 120에서 210사이의 5단계에 대해 실험한 결과 조도 보상 전에는 온도 증가에 따라 광 출력 저하의
문제점이 발생하였으나 조도 보상 알고리즘을 적용한 후에는 온도 증가에 상관없이 일정한 광 출력이 발생함을 알 수 있다. 향후 개발된 보드에 대해 노광설비에
적용하여 균일도 및 정출력 특성을 지속적으로 평가하고자 한다.
Acknowledgements
본 연구는 과학기술정보통신부 및 정보통신기획평가원의 Grand ICT연구센터지원사업의 연구결과로 수행되었음” (IITP-2020-0-01462)
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on Systems, Man and Cybernetics, Vol. 23, No. 3, pp. 665-685
저자소개
2016년 충북대학교 전자공학부 졸업(학사)
2019년 동 대학원 입학
관심분야 : 기구설계, 광원설계
1995년 충북대학교 전기공학과 졸업 (학사)
1997년 동 대학원 졸업(공학석사)
2002년 동 대학원 졸업(공학박사)
2006년~2008년 충북대학교 초빙 조교수
관심분야 : 영상처리, 인공지능, 빅데이터
1987년 : 부산대학교 전자공학과 공학사
1989년 : KAIST 전기 및 전자공학과 공학석사
1993년 : KAIST 전기 및 전자공학과 공학박사
1996년 : 삼성전자 자동화연구소 선임연구원
1996년~현재 : 충북대학교 전자공학부 교수
2008년~현재 : TTA PG505 전문위원
관심분야 : 지능시스템, 정보보호, 영상처리