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Korean Journal of Air-Conditioning and Refrigeration Engineering

Korean Journal of Air-Conditioning and Refrigeration Engineering

ISO Journal TitleKorean J. Air-Cond. Refrig. Eng.
  • Open Access, Monthly
Open Access Monthly
  • ISSN : 1229-6422 (Print)
  • ISSN : 2465-7611 (Online)

  1. 서울과학기술대학교 융합과학대학원 석사과정 대학원생 (M.E. Candidate, Graduate School of Convergence Science, Seoul National University of Science and Technology, Seoul, 08, Korea)
  2. 서울과학기술대학교 건축학부 교수 (Professor, School of Architecture, Seoul National University of Science and Technology, Seoul, 01811, Korea)



전산유체해석, 냉수, 혼합, 배관길이, 환수헤더, 온도균일성
CFD, Chilled water, Mixing, Pipe length, Return header, Temperature uniformity

기호설명

$D_{ij}$: 확산 항 [kg2/(m4s2)]
$P_{ij}$: 응력 생성 항 [kg2/(m4s2)]
$\phi_{ij}$: 압력 변형 항 [kg2/(m4s2)]
$\rho\epsilon_{ij}$: 소산 항 [kg2/(m4s2)]
$\varepsilon$ : 난류 소산 에너지 [m2/s2]
$\overline{u_{i}u_{j}^{'}}$ : 레이놀즈 응력성분 [m2/s2]
$k$ : 난류 운동에너지 [m2/s2]
$\mu_{t}$ : 난류점성계수 [kg/(m․s)]

1. 서 론

정밀한 전자부품을 생산하는 반도체 공장 특성상 각종 설비들의 정상적인 운전은 고품질 제품 생산에 필수적이다. 특히 냉수의 안정적인 공급이 중요하며 생산 제품의 질은 냉수 온도 변화에 민감하다. 전자부품을 만드는 생산 공장은 24시간 가동되며, 냉수 공급 온도 오차는 ±0.5℃ 이하를 요구하고 있다. 만약 그 기준치를 벗어나게 된다면 저부하 상태일 경우 냉동기가 일시 정지 또는 대기 상태가 되고, 과부하 상태일 경우 냉동기 수명 단축이 예상되며 생산에도 불리한 영향을 끼치게 된다. 냉수시스템은 환수헤더, 냉동기, 펌프, 공급헤더, 생산장비 순으로 냉수를 공급하게 되어 있다. 시스템 가동 중 냉동기의 부하가 60% 이하로 가동 될 때, 공급온도 편차가 발생되는 사례가 있었다. 또한, 냉수 환수 헤더 후 냉수의 온도 불균일 현상으로 시스템이 불안정해지고 장비의 적절한 운전이 어렵게 되어 밸브 조작으로도 개선에 한계가 있다. 일반적으로 냉수 시스템은 담당하는 부하가 다수이면 귀환 시 헤더를 사용한다. 이 경우 혼합 배관 길이가 충분하지 않은 경우 온도 분포가 불균일되는 문제가 있다. 이러한 문제에 대해 해결 방안을 찾기 위하여 냉수 환수 헤더의 온도 및 유량 측정값을 활용하여 CFD 수치해석을 통해 문제의 원인을 파악하고 온도 균일성을 개선하는 냉수 환수 헤더 후 배관의 설계 기준을 제안하는 것이 본 연구의 목표이다.

플랜트 등의 산업 분야에서 적용된 다양한 배관 시스템의 관 내부 열유동 현상은 생산 제품의 품질에 영향을 미친다. 복잡한 배관 내의 열유동을 실제 실험장치를 제작하여 파악하는 것은 매우 어려우므로 시뮬레이션 기법을 종종 활용한다. Lee et al.(1)은 CFD를 이용하여 180도 곡관을 갖는 원형 혼합배관의 속도와 온도 분포를 해석하고 분기관의 설계인자에 따른 유동특성을 연구하였다. Lee et al.(2)은 나선형 튜브 열교환기에서 원심력이 원관 외부측 열교환을 증대시키지만 내부측은 감소되어 원관 단면에서 온도 불균일이 존재함을 CFD로 증명하였다. Kim and Yoon(3) 등은 사각덕트 내에서 원형 실린더를 지나는 유체유동을 $k$-epsilon, RNG $k$-epsilon, Chen $k$-epsilon의 3가지 수치해석 모델을 적용하여 측정값과의 비교 결과 이 중 $k$-epsilon 모델의 정확성이 가장 우수함을 증명하였다. 또한 상류유동에서는 3가지 모델의 속도 분포가 유사했지만 원형 실린더를 통과한 하류에서는 3가지 모델의 결과가 달랐다. 이와 같이 다수의 연구자들이 여러 배관이 합류된 후 속도와 온도가 불균일되는 현상을 보고하고 있다. 또한 냉수 온도가 수냉식 냉동기의 성능에 미치는 영향에 대한 연구도 다수 있다.(4-7) 본 연구에서는 STAR-CCM+ 수치해석 software를 이용하여 배관 내의 열유동 현상을 해석하여 환수 헤더에서 온도가 상이한 유동들이 합류된 후 온도가 균일화되는 혼합길이를 제안하기 위하여 연구를 수행하였다. 수치해석을 위한 지배방정식, 배관 시스템에 관한 3차원 난류 유동, 열전달 모델링과 해석은 Wilcox(8), STAR-CCM+ Manual(9), Pyo(10)을 참조하였다. 수치해석 검증을 위한 냉수 환수 헤더의 유량 및 온도 데이터는 대한설비공학회 공기조화 및 위생 설비의 시험조정 평가(TAB) 기술기준(11)과 빌딩커미셔닝(12)의 기준에 따라 측정한 값을 사용했다. 냉수 환수 헤더 설계방안 제시에 적용될 배관 설계는 사용 목적에 따라 최대 허용 속도 기준으로 산정하는 방법이 있다. 바이패스(bypass) 및 환수 배관의 배관경 산정은 대한설비공학회 급수관 지름 산정 방법(13), 환수 헤더는 냉온수를 다루는 배관 자료(14-16)를 적용하였고, 이에 맞는 최대 허용 속도 기준을 적용하였다.

2. 연구 방법

현재 환수 헤더의 설계는 수증기 헤더 기준이 준용되고 있고, 냉수에 대한 설계 기준은 없기에 본 연구 에서는 이에 대한 기준을 정립하고자 한다. 5℃ 100% 유량 A와 12℃ 100% 유량 B의 두 가지 냉수가 헤더에 공급되어 완전하게 혼합된다고 가정하면 이론적으로 8.5℃ 200% 유량이 토출되어 냉동기에 전해질 것이라고 예측되지만 결과는 그렇지 않다. 혼합길이가 충분하지 않으면 완전한 혼합이 이루어지지 않아 온도 불균일이 발생하고 냉동기에는 평형 상태의 온도인 냉수가 공급되지 않는다. 그래서 이러한 문제점들을 해결하기 위해서 CFD 전산 유체 해석 프로그램 STAR-CCM+를 이용하여 2개 공장의 환수 헤더 내의 온도를 측정하여 문제점을 찾고, 헤더 내에서 합쳐진 냉수가 냉동기에 전달되기 전에 균일한 온도의 냉수가 되는 헤더 후 배관 길이 설계 기준을 본 연구에서는 제안하고자 한다.

3. 해석 모델

3.1 모델링

환수 및 바이패스 배관을 포함하여 총 24개의 관경 1000A로 구성된 냉수 환수 헤더 A(Fig. 1), 환수 및 바이패스 배관을 포함하여 총 25개의 관경 1300A로 구성된 냉수 환수 헤더 B(Fig. 2)를 CAD를 사용하여 3D 모델링하였다. Fig. 1, Fig. 2에서 HVAC는 부하로부터의 귀환, Chiller는 냉동기로 유입, Bypass는 공급 헤더로 부터 유입되는 배관이다. 모든 배관의 내부 표면은 상대조도(Relative roughness)가 0인 매끄러운 관으로 가정한다. PCW(Process chilled water)는 생산장비에서 공급되는 공정용 냉수, UPW(Ultra pure water)는 초순수 제조시스템에 공급되는 냉수를 의미한다. HVAC, PCW, UPW는 모두 부하측이다.

Fig. 1 3D modeling of chilled water return header A.
../../Resources/sarek/KJACR.2023.35.7.319/fig1.png
Fig. 2 3D modeling of chilled water return header B.
../../Resources/sarek/KJACR.2023.35.7.319/fig2.png

3.2 지배방정식

본 연구에서 냉수 환수 헤더의 유체 내부유동을 분석하기 위해서 3차원 정상상태, 비압축성 난류, 강한 와류, 유선의 곡률 및 회전, Standard $k-\varepsilon$ 난류 모델을 사용하였다. 이 모델의 지배방정식에 적용되는 연속 방정식은 (1), 모멘트 방정식은 (2), 수송방정식은 (3), 에너지 방정식은 (4)와 같다.

(1)
$\dfrac{\partial\rho}{\partial t}+\dfrac{\partial}{\partial_{i}}(\rho u_{i})=0$
(2)
$\dfrac{\partial}{\partial t}(\rho U_{i})+\dfrac{\partial}{\partial x_{j}}(\rho u_{i}u_{j})= -\dfrac{\partial p}{\partial x_{i}}+\dfrac{\partial}{\partial x_{j}}[\mu(\dfrac{\partial u_{i}}{\partial x_{j}}+\dfrac{\partial u_{j}}{\partial x_{i}})-\rho\tau_{ij}]$

여기서, $\tau_{ij}=\overline{u_{i}u_{j}^{'}}$, $k-\varepsilon$ 난류 모델은 이러한 레이놀즈 응력을 수송방정식에 대입하여 직접 계산한다.

(3)
$\dfrac{\partial}{\partial t}(\rho\tau_{ij})+\dfrac{\partial}{\partial x_{k}}(\rho u_{k}\tau_{ij})=D_{ij}+P_{ij}+\phi_{ij}-\rho\epsilon_{ij}$

여기서 $D_{ij}$는 확산(diffusion), $P_{ij}$는 응력 생성(stress production), $\phi_{ij}$는 압력 변형(pressure deformation), $\rho\epsilon_{ij}$ 는 난류 소산(dissipation), $T$는 온도를 나타낸다.

(4)
$\dfrac{\partial}{\partial x_{j}}\left(\rho u_{j}T\right)=\dfrac{\partial}{\partial x_{j}}\left[(\dfrac{\mu_{t}}{\sigma_{t}}+\dfrac{k_{f}}{C_{p}})\dfrac{\partial T}{\partial x_{j}}\right]$

3.3 수치해석

본 연구에서 수치해석을 위한 격자수는 환수 헤더 A의 경우 Fig. 3과 같이 총 24개의 배관 및 관경 1000A 환수 헤더에 대하여 247만 개, 환수 헤더 B의 경우 Fig. 4와 같이 총 25개의 배관 및 관경 1300A 환수 헤더에 대하여 333만 개로 구성하였다. 실제 조건과 동일한 상태에서 환수 헤더 내에 온도 분포, 혼합 상태 그리고 유동 현상을 살펴보기 위해서 냉수 환수 헤더 A의 경우 2020년 5월에 입구와 출구에서 측정한 유량과 온도를 적용하였다. 헤더의 입구에서 측정한 유량과 온도는 Table 1과 같고, 헤더의 출구에서 측정한 유량과 온도는 Table 2와 같다. 그리고 헤더에 연결되는 냉동기는 Table 3과 같다. 여기서 Table 1의 E(East), W(West), N(North)은 제조공장에 설치된 냉수 배관 위치, HVAC No. E-1, E-2, E-3, HVAC No. W-1, W-2는 환수 배관 순서이다. Table 2의 Chiller는 제조공장 설치 위치에 따라 Chiller No. 12부터 14는 서측, Chiller No. 6에서 10은 동측에 설치되었으며 순서는 Table 2와 같다. Chiller No. 9, 10, 12, 13, 14의 환수온도는 정격 운전 조건보다 높게, Chiller No. 6, 7, 8은 낮게 공급되고 있다.

냉수 환수 헤더 B의 경우 실제 조건과 동일한 상태에서 환수 헤더 내에 온도 분포, 혼합 상태 그리고 유동 현상을 살펴보기 위해서 2021년 4월에 입구와 출구에서 측정한 유량과 온도를 적용하였다. 헤더의 입구에서 측정한 유량과 온도는 Table 4, 헤더의 출구에서 측정한 유량과 온도는 Table 5와 같다. 그리고 헤더에 연결되는 냉동기는 Table 6과 같다. Table 4에서 PCW No. 3-1, 3-2, PCW No. 7-1, 7-2, PCW No. 12-1, 12-2 그리고 HVAC No. 10-1, 10-2, 10-3은 공급 조건을 고려하여 배치되었다.

Fig. 3 Configured meshes of chilled return header A.
../../Resources/sarek/KJACR.2023.35.7.319/fig3.png
Fig. 4 Configured meshes of chilled return header B.
../../Resources/sarek/KJACR.2023.35.7.319/fig4.png
Table 1 Inlet conditions of chilled water return header A

Line

HVAC

No. E-1

HVAC

No. E-2

HVAC

No. E-3

HVAC

No. W-1

Bypass

No. 1

HVAC

No. W-2

HVAC

No. N

Bypass

No. 2

Flow rate [kg/s]

172.85

224.32

338

17.02

140.56

220.17

257.15

284.72

Temperature [℃]

13.7

14.1

11.3

14.5

7.4

14.7

12.1

5.5

Pipe size [A]

500

500

500

500

350

500

500

350

Table 2 Outlet conditions of chilled water return header A

Line

Chiller

No. 13

Chiller No. 12

Chiller No. 14

Chiller No. 10

Chiller No. 9

Chiller No. 8

Chiller No. 7

Chiller No. 6

Flow rate [kg/s]

221.40

217.92

209.63

206.03

205.23

214.87

209.35

176.05

Temperature [℃]

12.0

12.5

12.6

11.6

11.5

10.4

10.1

9.7

Pipe size [A]

350

350

350

350

350

350

350

350

Table 3 Nominal specifications of chillers connected to return header A

Chiller No.

Type

Quantity

Cooling capacity

[USRT]

Chilled water [℃]

Motor power [kW]

Inlet

Outlet

5~7

Turbo

3

1,200

11

6

856

8~10

Turbo

3

1,600

11

6

1009

11~13

Turbo

3

1,600

11

6

1009

14~15

Turbo

2

1,200

11

6

856

Table 4 Inlet conditions of chilled water return header B

Item

PCW

No. 3-1

Bypass

No. 1

PCW

No. 7-1

PCW

No. 3-2

HVAC

No. 9

HVAC

No. 10-1

PCW

No. 12-1

PCW

No. 7-2

HVAC

No. 10-2

Bypass

No. 2

PCW

No. 12-2

HVAC

No. 10-3

UPW

Flow rate [kg/s]

177.5

26.88

142.5

144.17

164.17

180

155

177.5

185

100

178.3

244

155

Temperature [℃]

20.0

12.0

20.1

20

16.3

16.9

20.1

20.1

16.9

12

20.1

16.9

15.4

Pipe size [A]

600

450

500

500

400

400

500

500

400

450

500

400

250

Table 5 Outlet conditions of chilled water return header B

Line

Chiller

No. 211

Chiller

No. 212

Chiller

No. 213

Chiller

No. 214

Chiller

No. 215

Chiller

No. 216

Chiller

No. 218

Flow rate [kg/s]

286.98

285.98

289.83

287.73

291.32

292.97

295.23

Temperature [℃]

18.3

18.1

17.3

18.6

18.1

17.0

16.3

Pipe size [A]

450

450

450

450

450

450

450

Table 6 Nominal specifications of chillers connected to return header B

Chiller No.

Type

Quantity

Cooling capacity

[USRT]

Chilled water [℃]

Motor power [kW]

Inlet

Outlet

211~219

Turbo

9

1,200

20

12

847

3.4 환수 헤더 A의 시뮬레이션 결과 및 분석

냉수 환수 헤더 A에 연결되는 Chiller의 설계 냉수 온도는 입구 11℃, 출구 6℃, 생산장비에서 요구하는 공급온도는 6℃이다. 측정값 Table 2에 의하면 환수 헤더에서 Chiller로 유입되는 냉수 온도는 기준 온도 11℃이다. Chiller No. 6$\sim$8은 11℃보다 낮고, Chiller No. 9$\sim$13은 11℃보다 높은데, 저부하 그리고 과부하 현상의 원인을 찾기 위하여 CFD 수치해석을 통해 산출된 유량 및 온도를 분석하였다. 가장 우측에 배치된 HVAC No. W-2, HVAC No. N의 환수와 Bypass No. 2의 냉수가 혼합되어 Chiller No. 6부터 10까지 순차적으로 공급되고, 헤더의 중심에 배치된 HVAC No. W-1 환수와 Bypass No. 1의 냉수가 혼합되어 가장 좌측으로 유동되면서 나머지 환수 유량들과 혼합되어 순차적으로 Chiller No. 14, 12, 13으로 공급되게 설계되었다. 냉수 환수 헤더 내에 유량 및 온도를 분석하기 위해서 Fig. 5에서 표시한 구간에 대하여 온도 수치해석 시뮬레이션을 수행하였다. Fig. 6 수치해석에 의한 유선 결과이다.

Fig. 6 유선 결과를 보면 첫 번째로 가장 우측에 배치된 HVAC No. W-2, N 환수와 Bypass No. 2의 냉수가 혼합된 유량이 Chiller 6$\sim$9로 순차적으로 유입된다. 헤더에 중심에 배치된 HVAC No. W-1 환수와 Bypass No. 1의 냉수가 혼합된 유량이 좌측으로 유동되지 않고 우측의 Chiller No. 10, 9로 유입된다. HVAC No. E-1, E-2, E-3 그리고 HVAC No. W-1 환수들이 혼합되어 Chiller No. 14, 12, 13으로 공급된다.

Fig. 5에서 표시한 구간에 대하여 온도 수치해석 결과를 보면 여러 부하에서 환수된 냉수가 혼합 후 온도가 불균일 상태로 Chiller에 공급되므로 그 원인을 찾기 위해 Fig. 7에서 표시된 배관 단면 A, B, C, D의 온도 분포를 Fig. 8에 나타내었다. Fig. 8에서 나타난 바와 같이 배관 위치에 따라 온도가 다르며 단면의 온도 또한 불균일한 상태로 Chiller에 공급되고 있다. Chiller에서 냉수가 효율적인 열교환을 하기 위해서는 여러 배관에서 유입되어 혼합된 냉수의 단면 온도가 균일해지도록 일정한 배관 길이에서 충분히 혼합된 후 Chiller에 공급되어져야 한다.

Fig. 5 Temperature distribution of return header A.
../../Resources/sarek/KJACR.2023.35.7.319/fig5.png
Fig. 6 Stream line of return header A.
../../Resources/sarek/KJACR.2023.35.7.319/fig6.png
Fig. 7 Temperature distribution of return header A.
../../Resources/sarek/KJACR.2023.35.7.319/fig7.png
Fig. 8 Temperature distribution of cross section A, B, C, D of return header A.
../../Resources/sarek/KJACR.2023.35.7.319/fig8.png

3.5 환수 헤더 B의 시뮬레이션 결과 및 분석

냉수 환수 헤더 B에 연결되는 Chiller의 설계 냉수 온도는 입구 20℃, 출구 12℃, 장비에서 요구하는 공급온도는 12℃이다. 측정값 Table 5에 의하면 환수 헤더에서 Chiller로 유입되는 냉수 온도는 기준 온도인 20℃보다 낮은데 이 저부하 현상을 찾기 위하여 CFD 수치해석을 통해 산출된 유량 및 온도를 분석하였다. Fig. 9는 환수 헤더 B의 Chiller 공급배관, 환수배관, 그리고 환수 헤더 배관의 온도 분포를 나타낸다.

Fig. 9에서 Chiller No. 211$\sim$216 그리고 218에 공급되는 냉수 온도를 분석하였다. 부하측에서 환수되는 배관과 Chiller로 공급되는 배관이 용도별로 집중되어 있지 않고 부적절하게 혼재되어 있어 각 Chiller로 공급되는 냉수 온도가 균일하지 않다.

Fig. 10은 Chiller No. 211$\sim$216 그리고 218에 공급되는 배관의 단면 온도 분포를 나타낸다. 각 Chiller 별로 상이한 온도의 냉수가 공급되고 있음을 알 수 있다. 고품질의 제품 생산을 위해서는 부하측에 일정 온도의 냉수 공급이 필요하며, 이를 위해서는 Chiller에 유입되는 냉수는 운전 조건에 맞는 일정 온도가 공급되어야 냉수 출구 온도는 원하는 상태로 유지할 수 있다.

Fig. 9 Temperature distribution of return header B.
../../Resources/sarek/KJACR.2023.35.7.319/fig9.png
Fig. 10 Temperature of return header B chilled water supply section.
../../Resources/sarek/KJACR.2023.35.7.319/fig10.png

4. 환수 헤더 설계

환수와 냉수의 혼합온도가 균일 상태로 Chiller에 공급하기 위한 필요 배관 길이를 제안하기 위하여 CFD 수치해석을 수행하였다.

4.1 유량 및 온도, 배관의 관경 선정 기준

냉수 환수 헤더의 유량은 Table 7과 같이 공장에서 가장 많이 운영되고 있는 냉동기 운전 기준으로 선정하였다. 냉수 유량 및 온도 조건은 냉수 운영 시스템 중 Bypass를 사용하는 스텝제어방식으로 운영하므로 Bypass 유량은 100%, 온도는 5℃로 적용하였다. 환수 유량 비율은 헤더 제작 단가 및 운전 용이성을 위해 Table 8과 같이 50, 100, 150, 200% 범위 4가지 유형으로 적용하였다. 환수온도 조건은 현재 운영되고 있는 공장의 생산장비 배치 및 댓수 증감에도 불구하고 말단의 환수 배관의 배열을 조정하였다. 다양한 종류의 환수의 최대, 최소 온도의 측정값을 기준으로 8, 9, 10, 11, 12℃의 5가지 조건을 동일하게 적용하였다.

Bypass 및 환수 배관의 관경은 Table 8과 같이 최대 허용 속도 기준으로 2.4 m/s 이하, 헤더의 경우 1.5 m/s 이하 기준으로 적용하였다. 헤더 설계 형상은 유량 비율을 고려하여 Fig. 11$\sim$Fig. 14에 나타낸 바와 같다.

Fig. 11 Case 1 header dimension.
../../Resources/sarek/KJACR.2023.35.7.319/fig11.png
Fig. 12 Case 2 header dimension.
../../Resources/sarek/KJACR.2023.35.7.319/fig12.png
Fig. 13 Case 3 header dimension.
../../Resources/sarek/KJACR.2023.35.7.319/fig13.png
Fig. 14 Case 4 header dimension.
../../Resources/sarek/KJACR.2023.35.7.319/fig14.png
Table 7 Chiller specification

Chiller type

Cooling capacity

[USRT]

Chilled water [℃]

Flow rate [lpm]

Water cooled turbo

1,200

Inlet

Outlet

10

5

10,080

Table 8 Pipe size

Case

Line

Flow rate

[kg/s]

Size [A]

Velocity [m/s]

1

Bypass

168

300

2.30

Return

84

250

1.66

Header

252

500

1.24

2

Bypass

168

300

2.30

Return

168

300

2.30

Header

336

550

1.37

3

Bypass

168

300

2.30

Return

252

400

1.94

Header

420

600

1.44

4

Bypass

168

300

2.30

Return

336

450

2.05

Header

504

650

1.48

4.2 헤더 설계 시뮬레이션 결과 분석

Fig. 15Fig. 16은 Bypass와 Return 비율이 다른 2가지 Case에 대하여 배관 길이 0.5 m 간격으로 단면 중심의 온도를 수치해석한 결과이다. Fig. 15는 Bypass 100%, Return 100%인 Case 2, Fig. 16은 Bypass 100%, Return 150%인 Case 3의 결과이다.

Fig. 15 Centerline temperature of Case 2 after return header.
../../Resources/sarek/KJACR.2023.35.7.319/fig15.png
Fig. 16 Centerline temperature of Case 3 after return header.
../../Resources/sarek/KJACR.2023.35.7.319/fig16.png

Fig. 15Fig. 16에서 입구 온도는 Bypass 5℃, Return 8℃이다. Case 2, Case 3의 온도 조건은 같다. 혼합 후 온도가 단면 온도가 균일해지는 배관 길이는 Case 2는 3.5 m, Case 3은 4.5 m이다. Fig. 17Fig. 18은 각각 Case 2와 3의 길이에 따른 온도 수치해석 결과이다. Fig. 19와 20은 Fig. 17Fig. 18에 나타낸 단면에 대하여 거리에 따른 단면의 온도 분포를 보여주고 있다. 일정한 길이를 유동한 후 단면의 온도가 균일해짐을 알 수 있다. Case 2는 3.5 m에서 6.5℃, Case 3은 4.5 m에서 6.8℃로 단면의 온도가 균일한 상태가 된다.

혼합길이는 유량비에 따라 상이하므로 유량비에 따른 혼합길이를 산출하였다. Table 9는 4가지 유량비 조건에 대한 수치해석 결과이다. Bypass 온도는 모든 조건에서 5℃라고 가정하였다.

Fig. 17 Case 2 chilled return header temperature.
../../Resources/sarek/KJACR.2023.35.7.319/fig17.png
Fig. 18 Case 3 chilled return header temperature.
../../Resources/sarek/KJACR.2023.35.7.319/fig18.png
Fig. 19 Temperature distribution of circular cross sections of Case 2.
../../Resources/sarek/KJACR.2023.35.7.319/fig19.png
Fig. 20 Temperature distribution of circular cross sections of Case 3.
../../Resources/sarek/KJACR.2023.35.7.319/fig20.png
Table 9 Simulation results

Case

Flow rate ratio

Return

temperature

[℃]

$\triangle{T}$[℃]

Theoretical mixing temperature

[℃]

Required

length

[m]

Circular section average temperature

[℃]

1

Bypass : 100%

Return : 50%

8

3

6.00

1.5

6.00

9

4

6.33

1.5

6.33

10

5

6.67

1.5

6.66

11

6

7.00

1.5

7.00

12

7

7.33

1.5

7.33

2

Bypass : 100%

Return : 100%

8

3

6.50

3.5

6.50

9

4

7.00

3.5

7.00

10

5

7.50

3.5

7.50

11

6

8.00

3.5

8.00

12

7

8.50

3.5

8.50

3

Bypass : 100%

Return : 150%

8

3

6.80

4.5

6.80

9

4

7.40

4.5

7.40

10

5

8.00

4.5

8.00

11

6

8.60

4.5

8.60

12

7

9.20

4.5

9.20

4

Bypass : 100%

Return : 200%

8

3

7.00

6.5

7.00

9

4

7.70

6.5

7.70

10

5

8.33

6.5

8.33

11

6

9.00

6.5

9.00

12

7

9.67

6.5

9.66

4.3 환수 헤더 설계방안 제시

냉수 환수 헤더와 냉동기 사이의 배관 길이를 설계할 경우, 혼합 후 온도 균일성을 위해 유량 비율에 따라 일정 거리가 필요하다. Table 9에 나타난 바와 같이 적절한 혼합 길이를 계산하면 Fig. 21과 같이 Case 1은 1.5 m, Case 2는 3.5 m, Case 3은 4.5 m, Case 4는 6.5 m가 도출되었다.

유량비에 따른 필요 길이 관계를 식으로 나타내면 식 (5)과 같다. 여기서 $L_{req}$는 혼합 후 배관 필요길이 [m], $R$은 Bypass 유량을 Return 유량으로 나눈 비(ratio)이다.

(5)
$L_{req}= 3R+0.5$
Fig. 21 Required length after mixing for temperature uniformity.
../../Resources/sarek/KJACR.2023.35.7.319/fig21.png

5. 결 론

본 연구에서는 부하측으로 유입되는 다수의 냉수와 Bypass 유량이 냉수 환수 헤더에서 혼합되어 냉동기로 유입될 시 배관 단면의 불균일한 온도 분포를 해결하기 위해 충분한 혼합이 이루어지는 혼합 후 배관 필요길이를 산출하기 위해 수치해석을 수행하였고 그 결과는 다음과 같다.

(1) 냉수 환수 헤더의 설계 시 부하측으로부터의 유입관, Bypass 유입관 그리고 냉동기로의 유출관이 적절하게 배치되지 않으면 냉동기에서 요구하는 입구온도가 충족되지 않아 제조 공정에서 요구하는 냉수 온도를 맞추기 어렵다.

(2) 냉수 환수 헤더의 경우 설계 시 유량 비율에 따라 최대 허용 속도 기준으로 관경을 선정한다.

(3) 냉수 환수 헤더에서 혼합 후 단면의 온도 균일성을 만족하기 위해 일정한 배관 길이가 필요하다.

(4) 혼합 후 배관 필요길이는 $L_{req}= 3R+0.5$으로 산출된다. 이 조건을 적용하면 반도체 제조 공정에 냉수 온도를 균일하게 안정적으로 공급된다고 판단된다. 본 연구에서는 헤더와 급수 관경을 변경하여 4가지 경우에 대하여 연구를 진행하였으며 다른 조건에 대해서는 추가 연구가 필요하다.

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