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The Transactions P of the Korean Institute of Electrical Engineers

Korean Journal of Air-Conditioning and Refrigeration Engineering

ISO Journal TitleTrans. P of KIEE
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  1. (Dept. of Electrical Engineering, Gachon Univerity, Seongnam, Korea. E-mail : dino0403@naver.com, wh15@gachon.ac.kr )
  2. (Dept. of Electrical Engineering, Hanyang Univerity, Seoul, Korea. E-mail : dlswns78@naver.com)



IPMSM, Semiconductor, FEA Model, CVD, Vacuum Pump Motor

1. 서 론

최근 세계 반도체 시장은 경쟁이 심화되고 급속도로 발전하고 있기 때문에 전 세계적으로 점유율 확보가 제일 중요한 시장 중 하나이다. 그 중 반도체 제조공정에서 D램의 CVD제조공정을 중심으로 반도체용 진공펌프 수요가 급증하고 있다. 반도체 제조공정과 유사한 타 산업에서도 진공펌프 수요가 늘어나고 있고, 그 중 반도체, 디스플레이 등 고난이도 공정에 투입되는 진공펌프 기술은 주로 해외에서 보유하고 있다. 그렇기 때문에 반도체용 진공펌프 시장의 국산화는 국가적으로 매우 중요하며, 기술적으로 앞서가는 것이 중요하다. 현재 국내 반도체 기업들도 반도체 공정용 건식진공펌프 개발 국산화에 적극적으로 투자하고 있다.

건식진공펌프는 인위적으로 진공상태를 만들어 산업생산과 과학실험이 가능하게 하는 기술로 대기압보다 낮은 압력으로 기체분자가 채워져 있는 상태를 만들어주는 펌프이다. 이러한 진공펌프는 반도체, 디스플레이 제조 공정에서 공간적 효율을 고려하였을 때 펌프의 소형화와 높은 배기성능이 필수적이다.[1] 모터의 출력이 동일할 경우 고속화 설계가 이루어지면 동등한 출력을 내기 위해 필요한 모터의 크기가 줄어들기 때문에 전동기의 고속화는 소형화에 유리하다. 그러나 고속으로 운전하게 되면 높은 주파수에 대한 와전류 손실 문제가 발생하며 이에 대한 해결방안이 필요하다. 또한 고속에서 토크리플 또한 전동기 설계에서 중요한 목표함수이다. 모터의 소음과 진동 발생은 기계적, 전기적 요인이 있지만 토크리플도 소음, 진동 발생의 원인 중 하나이다. 특히 고속에서의 토크리플은 소음을 발생시키게 된다. 그렇기 때문에 본 논문에서는 5kW급 반도체 CVD공정용 PM 전동기의 토크리플 저감 및 고속화 방안에 대한 설계를 제안하고자 한다.[2-4]

2. 반도체 CVD 공정용 PM 전동기 개선 설계

2.1 와전류손의 원리

전동기에서 발생하는 손실은 동손, 철손, 와전류손 등이 있고, 영구자석의 와전류 손실은 영구자석의 온도 상승의 원인이고 불가역감자를 일으킨다. 영구자석에 대한 와전류 손실의 수식은 (1)과 같이 표현된다. 수식 (1)에서 Ph는 히스테리시스손을 의미하고 Pe는 와전류손을 의미한다. 와전류손은 자석 주변에 시간에 따라 변화하는 자속이 생기면 역기전력에 의해 와전류가 발생한다. IPM 회전자 형상에서 철심의 투자율이 높아서 영구자석 주변의 자속의 이동에 의해 와전류 발생이 증가한다. 영구자석의 와전류손은 회전자 열을 의미하며 회전자의 발열로 인해 효율이 감소하거나 모터에 고장이 발생할 수 있다. 따라서 영구자석의 와전류손을 저감하는 설계가 필요하다.

(1)
$P_{c}=P_{h}+P_{e}=K_{h}B^{n}f+K_{e}B^{2}f^{2}$

2.2 토크리플의 원리

토크리플의 원인은 4가지가 있는데 전기자, 계자 기자력에 의한 성분, 코깅토크, 기계적인 요인이 있다. 그중 본 눈문에서는 코깅토크에 의해 발생하는 성분을 저감하려고 한다. 코깅토크 영향의 토크리플은 고속에서 치명적이다. 또한 코깅토크는 회전자가 회전할 때 자기저항의 변화에 의해 발생하는데 토크리플의 경우 코깅과 역기전력의 고조파 성분에 의해 발생한다. 그러므로 회전자 자기저항의 변화를 최소화 해주면 코깅토크를 저감할 수 있고, 토크리플은 소음과 진동을 발생시키므로 토크리플을 최소화 해야한다. 또한, 모터가 고속으로 운전 시 소음과 손실이 커지게 된다. 그렇기 때문에 토크리플을 최소화하는 설계가 중요하다.

2.3 회전자 및 고정자 태퍼링 변수

그림 1은 회전자 태퍼링에 대한 변수를 나타낸다. 회전자 태퍼링 적용을 통해 공극의 릴럭턴스 변화분을 감소시켜 코깅토크 및 토크리플을 저감하는 것이 가능하다. 또한 회전자 태퍼링 적용시에 q축에 대한 자속의 경로가 증가하며 이는 곧 자속의 변화를 저감시킨다. 이는 곧 영구자석의 와전류손을 저감할 수 있음을 의미한다. 또한 고정자 슈 부분에 태퍼링을 주어서 회전자 태퍼링에 추가적으로 토크리플을 저감해 주는 것이 가능하다.[4]

Fig. 1 Rotor and Stator Tapering Variables

../../Resources/kiee/KIEEP.2022.71.4.255/fig1.png

2.4 반도체 CVD 공정용 PM 전동기 설계 사양

그림 2그림 3은 각각 8극12슬롯 집중권의 기초설계 모델 및 개선모델의 2D 단면을 나타낸다. 영구자석 및 코어의 재질은 전부 동일하며 고정자 외경 또한 동일하다. 회전자 외경은 개선모델이 기초모델 대비하여 4mm 작으며 고정자 코일의 턴수가 10턴 더 높은 것을 알 수 있다. 또한 기초모델은 V-Type의 영구자석 형상을 채택하였지만 개선 모델은 Bar-Type의 영구자석 형상으로 변경하였다. 또한 개선 모델은 회전자 외경에 태퍼링을 적용하였다.

Fig. 2 8-Poles Basic Model Rotor V-Type

../../Resources/kiee/KIEEP.2022.71.4.255/fig2.png

Fig. 3 8-Poles Improved Model Rotor Bar-Type

../../Resources/kiee/KIEEP.2022.71.4.255/fig3.png

Table 1 Motor Design Specifications for CVD Processes

Parameter

Basic Model

Improved Model

Unit

Pole / Slot

8 / 12

8 / 12

-

Magnet

N42UH

N42UH

-

Rotor

35PNF1600

35PNF1600

-

Stator

35PNF1600

35PNF1600

-

Winding

Copper

Copper

-

Parallel branches

4

4

-

Stator diameter

(Outer ,Inner)

150 / 92

150 / 88

mm

Rotor diameter

(Outer ,Inner)

90 / 40

86 / 40

mm

Winding Turns

76

86

Turns

Stack length

57.2

57.2

mm

2.5 전압전류 제한원 및 T-N Curve

전동기는 저속 영역에서는 유기전압이 크게 발생하지 않고 전동기에서 발생되는 전압이 전동기에 인가할 수 있는 전압보다 낮은 경우가 많다. 이럴 때는 전압제한을 고려할 필요 없이 전류 제한만 고려한 제어가 가능하다. 이것이 MTPA제어이다. 하지만 기저속도 이상의 속도 영역에서는 전류제한에다 전압제한도 고려해야한다. 전압제한원과 전류제한원이 만나는 교점에서 전류 벡터를 선정하게 된다. 전압전류 제한원의 중심인 M점은 전류제한원의 중심 근방에 있을수록 고속화에 유리하다. 그림 4에 기존 및 개선설계 모델에 대한 전압전류 제한원이 나타나 있으며 개선설계 모델의 M점이 전류제한원의 중심에 더 가깝다는 것을 알 수 있다. 이는 회전자 태퍼링을 통해 M점의 위치를 결정하는 영구자석의 쇄교자속이 감소하였기 때문이다. 그림 5에서 기초모델에 비해 개선설계 모델이 기저토크는 낮지만 고속영역에 더 유리한 것을 알 수 있다.

Fig. 4 Comparison of voltage limit circle and current limit circle

../../Resources/kiee/KIEEP.2022.71.4.255/fig4.png

Fig. 5 Basic and Improved Model T-N Curve

../../Resources/kiee/KIEEP.2022.71.4.255/fig5.png

2.6 FEA 해석 결과

그림 6은 기초설계 모델과 개선설계 모델의 무부하시 회전속도에 따른 시뮬레이션 파형이다. 표 2그림 6의 파형들에 대한 결과 값을 정리하였다. 기초설계 모델과 개선설계 모델의 무부하 역기전력의 성능은 거의 비슷하지만 코깅토크는 매우 감소한 결과를 볼 수 있다. 개선모델은 회전자 태퍼링을 적용하지 않은 기초설계 모델에 대비하여 코깅토크가 약 66%가량 감소하였다.[4] 또한 회전자의 V-Type 형상에서 Bar-Type 형상으로 가게 되면서 공간에 있는 자속의 분포가 더 정현적이게 되어 상,선간 역기전력의 THD 상에 변화가 생긴다.

Fig. 6 No-Load simulation analysis by rotating speed

../../Resources/kiee/KIEEP.2022.71.4.255/fig6.png

Table 2 No-load simulation analysis by rotating speed

항목

기초설계 CVD

개선설계 CVD

기초설계 CVD

개선설계 CVD

기초설계 CVD

개선설계 CVD

단위

속도

6,000

6,000

9,000

9,000

12,000

12,000

rpm

상 역기전력

97.54

96.67

146.26

144.98

195

193.3

Vrms

상 THD

1.88

3.78

1.53

3.59

1.62

3.57

%

선간 역기전력

168.95

167.43

253.27

251.1

337.68

334.78

Vrms

선간 THD

1.87

3.78

1.52

3.59

1.61

3.56

%

코깅토크

1240.25

421.8

1240.25

421.8

1240.25

421.8

mNm

Table 3 Load simulation analysis by rotating speed

항목

기초설계 CVD

개선설계 CVD

기초설계 CVD

개선설계 CVD

기초설계 CVD

개선설계 CVD

단위

속도

6,000

6,000

9,000

9,000

12,000

12,000

rpm

출력

5.00

5.00

5.01

5.02

5.16

5.09

kW

전류

17

17.5

15.8

15.3

19

17.2

Arms

전류밀도

5.41

5.57

5.03

4.87

6.05

5.48

A/㎟

전류 위상

20

13

53

46

68

63

deg°E

토크

8.13

8.07

5.47

5.40

4.32

4.12

Nm

축 토크

7.95

7.96

5.31

5.33

4.11

4.05

Nm

토크 리플률

8.07

10.00

25.76

6.86

42.78

6.01

%

선간전압 기본파

269.25

268.52

283

278.65

282.88

278.66

V$_{peak}$

선간전압 THD

10.16

9.18

14.16

10.81

21.02

12.37

%

L$_{d}$

1.212

1.354

1.172

1.344

1.175

1.334

mH

L$_{q}$

1.847

1.617

1.968

1.709

1.956

1.703

mH

동손

69.36

80.85

59.91

61.80

86.64

78.10

W

영구자석손

35.90

3.73

61.46

6.01

149.38

14.34

W

철손

76.41

60.79

86.89

62.43

113.81

73.22

W

효율

96.49

97.18

96.01

97.47

93.65

96.85

%

그림 7은 회전속도에 따른 부하시 시뮬레이션 데이터를 나타낸다. 표 3에 시뮬레이션 파형들에 대한 결과 값을 정리하였다. 정격속도인 6,600rpm 영역에서도 효율이 더 높은 것을 볼 수 있고 고속영역으로 갈수록 토크리플은 크게 감소하고 효율은 3.2%정도 증가했음을 볼 수 있다. 또한 회전자 태퍼링 적용을 통해 영구자석의 와전류 손실이 크게 줄어든 것을 확인 가능하다.

Fig. 7 Load FEA according to rotating speed

../../Resources/kiee/KIEEP.2022.71.4.255/fig7.png

2.7 영구자석 감자 성능 확인

그림 8과 같이 개선설계 모델에 대해 영구자석 감자 성능을 확인하였다. 전자계 설계시 영구자석의 감자를 고려하여야 한다. IPMSM은 고속에서 약자속제어를 한다. 그러면 역자계에 의해 감자 현상이 발생할 수 있다. 영구자석의 B-H커브에서 동작점이 knee point 밑으로 형성이 될 경우 영구자석은 자성을 잃게 되는 감자현상이 발생하게 된다. 감자가 된 이후 동작점을 다시 knee point 위로 형성시켜도 영구자석이 가지고 있던 자속밀도로 돌아가지 못하고 기존보다 낮은 자속밀도를 띄게 되는데 이것을 불가역감자현상이라고 한다. 또한 자석이 감자된 경우 영구자석의 자속밀도에 영향을 주었기 때문에 모터의 성능에도 영향을 미치게 된다. 다음 영구자석의 감자 확인 방법은 정격전류의 5배 전류를 인가하였으며 영구자석 감자율 0%를 확인하였다. 또한 NdFeB 자석은 고온 감자 특성이 있기 때문에 고온에서의 극한 상황을 고려하여 150℃에서 사용된 NdFeB자석의 B-H커브 값으로 FEA해석을 통하여 영구자석의 감자성능을 확인하였다.

Fig. 8 Improved Model demagnetization performance check

../../Resources/kiee/KIEEP.2022.71.4.255/fig8.png

2.8 회전자 기구강성 해석

12,000rpm 운전속도에서 기구강석 해석을 진행하였으며 그림 9그림 10는 각각 기초모델과 개선설계 모델의 등가응력 및 안전율을 나타낸다. 개선모델의 자석의 지지구조에서 최소 안전율은 7.47이였으며, 회전자의 립 부분에서 최소 안전율은 6.47이였다. 개선모델은 회전자 태퍼링을 적용하였으나 회전자 안전율은 전부 5이상으로 안전범위 안이며 기구 강성에 이상이 없음을 확인하였다.

Fig. 9 Basic Model equivalent stress and safety factor

../../Resources/kiee/KIEEP.2022.71.4.255/fig9.png

Fig. 10 Improved Model equivalent stress and safety factor

../../Resources/kiee/KIEEP.2022.71.4.255/fig10.png

3. 결 론

본 논문은 5kW급 반도체 CVD공정 진공펌프용 모터의 고효율 및 토크리플 저감 설계에 대한 연구를 진행하였다. 최근 세계 반도체 시장에서 반도체 제조공정에 필수적인 반도체용 진공펌프 수요가 급증하고 반도체 제조공정과 유사한 타 산업에서도 진공펌프 수요가 늘어나고 있지만 관련 기술이 대부분 해외에서 보유하고 있었다. 그렇기 때문에 시장의 국산화가 매우 중요하며, 기술적으로 앞서가는 것이 중요하다. 그래서 본 논문에서는 반도체 제조공정에서 필요한 진공펌프의 국산화를 위한 고속에서의 고효율 진공펌프 모터에 대해 설계를 진행하였다. 모터를 고속으로 가져갈 경우 전체적인 크기를 줄일 수 있어서 동등한 출력 대비 공간적 효율을 고려할 때 고속 영역에서의 고효율 모터의 설계가 필요하였다. 6000rpm부터 12,000rpm이상의 고속 영역에서 고속운전 가능함을 FEA해석을 통하여 검토하였고, 12,000rpm 기준 효율은 기초 모델 93.65%에서 96.85%로 증가하였고, 토크리플은 42.78%에서 6.01%로 감소하였다. 따라서 5kW급 반도체 CVD공정 진공펌프용 모터의 기초 모델 대비 개선 모델의 효율 상승 및 토크리플 저감 설계를 진행하였다.

Acknowledgements

This work was supported by the Korea Evaluation Institute of Industrial Technology (KEIT) grant funded By the Ministry of Trade, Industry & Energy (MOTIE) (No.20011495)

References

1 
Y.-S. Lee, B.-Y. Kim, A.-S. Lee, M.-G. No, 2010, Development of Dry-Vacuum-Pump for Semiconductor/Display Process, Applied Science and Convergence Technology, Vol. 19, No. 4, pp. 265-274DOI
2 
I. -J. Yang, S. -H. Lee, K. -B. Lee, J. Lee, W. -H. Kim, I. -S. Jang, Feb. 2021, A Process to Reduce the Electromagnetic Vibration by Reducing the Spatial Harmonics of Air Gap Magnetic Flux Density, in IEEE Transactions on Magnetics, Art no. 8103006,, Vol. 57, No. 2, pp. 1-6DOI
3 
H. -J. Pyo, S. -W. Song, D. -W. Nam, D. -H. Kim, W. -H. Kim, Aug. 2022, Study on Inductance Parameter Compensation Method for Flux–Torque Control of IPMSM, in IEEE Transactions on Magnetics, Art no. 8204605, Vol. 58, No. 8, pp. 1-5DOI
4 
S. -W. Lee, I. -J. Yang, W. -H. Kim, Aug. 2022, A Study on Reducing Cogging Torque of IPMSM Applying Rotating Tapering, in IEEE Transactions on Magnetics, Art no. 8204505, Vol. 58, No. 8, pp. 1-5DOI

저자소개

최도현(Do-Hyeon Choi)
../../Resources/kiee/KIEEP.2022.71.4.255/au1.png

received his B.S. degree in energy IT from Gachon University, Seongnam, Korea, in 2021, respectively. Since 2022, he has done his M.S. degree in the department of electric engineering at Gachon University, Seongnam, Korea. His research interests include design and analysis of motors, generators. Applications are vehicles, home appliances and industrial electrical machinery.

양인준(In-Jun Yang)
../../Resources/kiee/KIEEP.2022.71.4.255/au2.png

received his B.S., M.S. degrees in energy IT from Gachon University, Seongnam, Korea, in 2018 and 2020, respectively. Since 2020, he has done his Ph.D. degree in the department of electric engineering at Hanyang University, Seoul, Korea. His research interests include design and analysis of motors, generators. Applications are vehicles, home appliances and industrial electrical machinery.

김원호(Won-Ho Kim)
../../Resources/kiee/KIEEP.2022.71.4.255/au3.png

received the B.S., M.S., and Ph.D. degrees in electrical engineering from Hanyang University, Seoul, Korea in 2005, 2007, and 2011, respectively. From 2011 to 2017, he was a Research Staff Member with the Samsung Advanced Institute of Technology, Yongin, Korea. Since 2017, he has been an Assistant Professor with the Electrical Engineering Department, Gachon University, Seongnam, Korea. His research interests include design and analysis of motors, generators. Applications are vehicles, home appliances and industrial electrical machinery.

정동훈(Dong-Hoon Jung)
../../Resources/kiee/KIEEP.2022.71.4.255/au4.png

received the B.S. degree in electrical engineering from Myongji University, Yongin, Korea, in 2014 and the M.S. and Ph.D. degree in electrical engineering from Hanyang University, Seoul, Korea, in 2016 and 2020. Since 2020, he has been an Assistant Professor with the School of Mechanical, Automotive and Robot Engineering, Halla University. His research interests include design and control of electric machinery based on electro-magnetic field analysis, multi-physical design and analysis of motor/generator, energy conversion systems and applications of motor-drives.